产品描述：
  1600片（125*125、156*156）/小时超大产能。采用第四代最新全自动配液、补液技术，全面完善的防酸、防腐措施，保护到机器每一个角落。最新全自动补液技术。独特的硅片干燥处理技术，保证硅片干燥不留任何水痕。成熟的硅片干燥工艺，多种先进技术集于一身。彩色大屏幕人机界面操作，方便参数设置及多工艺方式转换。 高速移载机械手采用松下伺服程序控制，具有高速，防压，自动归正，四点 稳定抓取，带钩抱篮等特点。